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 美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美國萬機儀器MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體生產(chǎn)設備和制造過程中。